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Magenetic field analysis
磁场解析是Magnetron cathode的核心技术,拥有以长期经验和B-filed simulation技术为基础,
按照靶材与工艺提供最佳magnetron design的技术能力。
凭借magnet design专业技术,保障了50%以上的target erosion efficiency。
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Conventional technology
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lmproved technology
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Oprimized technology
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Optimized Design
CNI Technology的Cathode应用了最佳设计核心要素,一切只为客户的便捷与稳定运营。
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Target utilization
若使用CMC-RT series cathode,可实现圆筒型靶材Erosion efficiency达到85%以上的高效溅射。
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Full-erosion cylindrical target
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Full-erosion cylindrical target