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Technology

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Cathode

Magnetron cathode는 sputter 시스템에서 핵심 모듈로써, 최적화된 magnetron 디자인을 통하여 target의 효율 및 생산성을 극대화 시킬 수 있습니다.
씨앤아이테크놀로지는 고객사에서 필요로 하는 최적의 솔루션을 제공하기 위해 magnet design, magnetic field simulation, 구조해석 등을 수행함으로써,
맞춤형 magnetron cathode를 제공하고 있습니다.

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Magenetic field analysis

자기장의 해석은 Magnetron cathode의 핵심 기술로 오랜 경험과 B-field simulation 기술을 바탕으로 타겟 재질 및 공정에 따른 최적의
magnetron design 기술력을 보유하고 있습니다.
특화된 magnet design 기술로 50% 이상의 target erosion efficiency를 확보하였습니다.

  • Conventional technology

    20%

  • lmproved technology

    40%

  • Oprimized technology

    60%
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Optimized Design

씨앤아이테크놀로지의 Cathode는 고객의 편의 및 안정적으로 운영하기 위하여 최적의 설계 핵심 요소들이 적용되어 있습니다.

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Target utilization

CMC-RT series cathode를 사용하면 원통형 타겟 사용 효율(Erosion efficiency)이 85% 이상되는 고효율 스퍼터링을 구현할 수 있습니다.

  • 예시이미지

    Full-erosion cylindrical target

  • 예시이미지

    Full-erosion cylindrical target