In-line system
씨앤아이테크놀로지는 차별화된 기술력을 바탕으로 진공 자동화 시스템관련 프로젝트를 성공적으로 이끌었습니다.
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- Mask stocker
- Mask stocker는 8세대 OLED 공정에서 metal mask를 보관하는 chamber로서 mask cassette, up/down module, forward/backward roller module 등으로 구성되어 있습니다.
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- Buffer chamber
- Buffer chamber는 OLED 8세대 기판을 이송 시, 기판 간의 간격을 조절하는 챔버입니다. 기판 간의 간격을 최대한 줄이고 정밀 제어함으로써, 증착물질 사용 효율을 높일 수 있습니다.
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- Load lock
- Fast pumping & vent, low particle generation 기술이 적용된 8세대 load lock 입니다. 구동 roller의 경우, Ferro-seal 직결 type으로 챔버 용적을 최대한 줄였습니다.
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- Glass flipper
- Glass를 face up 또는 face down으로 반전하는 챔버이며, 동시에 glass를 pre-heating 또는 cooling할 수 있습니다.
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- Carrier elevator
- Carrier elevator는 AGV/MGV와 interface되어 carrier를 진공챔버로 투입시키는 장비로서, up/down module, sliding module로 구성되어 있습니다.
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- Liner Buffer
- Linear buffer는 cluster tool에서 In-line장비로 반송이 가능할 수 있도록 개발된 장비로서, top linear stage, bottom linear stage, up/down module, aligner 등으로 구성되어 있습니다.
