SIGMA 1000: In-line Sputtering System
SIGMA1000시리즈는 glass, film, plastic 재질 등 다양한 크기와 형태의 제품에 균일한 박막을 형성할 수 있는 양산에 특화된 제품입니다.
주요 특징
- 양산에 특화된 디자인
- Substrate size : < 2000mm(L) * 2000mm(W) * 100mm(H)
- Cathode type : Cylindrical, Rectangular
- Target material : Ti, Cu, SUS, Ag, Au, 등 각종 metal, Si, Ni, NiFe등 강자성체 재료, ITO, ZnO
- 응용분야 : Glass, 전자 부품, 가전제품, 자동차용 부품
